진공 미달 원인 및 조치 절차 > 기술 및 AS상담

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1. 기본 점검: 장비 정상 작동 여부
- 진공 게이지: 전원 ON, 정상 출력 여부 → 고장 시 교체 또는 보정 필요
- 펌프 작동: 로터리펌프, 터보펌프 정상 회전 여부 → 모터 소음, 전류 확인
- 배기 밸브 개방: 밸브가 닫혀 있지 않은지 확인 → 수동/자동 밸브 위치 확인
- 전원 및 인터록 상태: 진공 인터록이 차단되지 않았는지 → 인터록 리셋 후 재시작

2. 챔버 누설 점검 (Leak Check)
- 진공이 일정 압력 이하로 더 이상 내려가지 않을 경우, 누설 가능성 높음
- 도어 개스킷: 도어 씰 부위에 누설검지기(He leak detector) 또는 알콜 발포제 도포 → 개스킷 교체 또는 청소
- 뷰포트/윈도우: 볼트 풀림, 유리 실링 파손 확인 → 볼트 재조임, 실링 교체
- 피드스루 (전원, 냉각수 라인): 케이블 관통 부위 누설 여부 → 피팅 재조임 또는 실리콘 재처리
- 진공관/펌프 연결부: 클램프, 플랜지 점검 → O-ring 교체 또는 재조립
* 헬륨 누설 시험이 가장 정확함 (정밀도 10⁻⁹ mbar·L/s 수준)

3. 작업물 또는 오염물에 의한 진공 저하
- 기름, 그리스, 습기: 탈지되지 않은 시편, 손자국 등에서 가스 방출 → 아세톤/IPA 세정 → 건조 후 투입
- 알루미늄, 아연 등의 휘발성 재료: 용융 중 증기 방출 많음 → 사전 예열 또는 챔버 보호
- 플라스틱, 고무부품: 진공 중 기체 방출 → 사용 금지 또는 진공용 전용 자재 교체
- 습기 많은 날: 챔버 벽이나 소재에 흡착된 수분 → 챔버 프리베이킹(50~80°C 예열) 시행

 4. 펌프 계통 이상
- 로터리 펌프: 배기 속도 느림, 오일 기포 → 오일 오염 또는 부족 → 오일 교환
- 터보 분자펌프: 회전수 도달 실패, 정지 → 베어링 이상, 베이킹 후 재시작
- 크라이오 펌프: 흡착력 저하 → 재생 사이클 또는 온도 재조정 필요
- 밸브 작동 불량: 닫힘 상태 유지 → 전자밸브 또는 솔레노이드 고장 여부 확인

* 점검 우선순위 요약
1. 기본 장비 작동 이상 여부 (전원, 밸브, 펌프 등)
2. 챔버 내 작업물 청결 및 건조 여부
3. 챔버 누설 검사 (He leak test, 발포제 등)
4. 펌프 계통 문제 (오일, 회전, 재생 등)
5. 습기 환경 → 프리베이킹, 건조 필요

* 실무 팁
- 진공이 일정 압력까지만 내려가고 멈추는 경우 → 오염 또는 가스 방출 가능성
- 진공이 전혀 형성되지 않으면 → 펌프 계통 또는 밸브 누설 의심
- 진공 형성은 10⁻² Torr까지 로터리펌프, 이후 10⁻⁵~10⁻⁷ Torr는 고진공펌프가 담당합니다