진공시스템

(1) 진자가 발생하는 곳을 컬럼(column)이라 하고, 작업물이 들어가는 곳을 챔버(chamber)라 합니다.
(2) 컬럼과 챔버 사이에는 빔이 지나가는 통로 역할 및 챔버와 컬럼 사이의 공기를 차단할 수 있는 컬럼 밸브가 있습니다. (열렸다 닫혔다 함)
(3) 진공 배기 시스템은 챔버와 컬럼이 각기 다른 배기 시스템으로 작동됩니다.
(4) 펌프의 종류는 로타리펌프, 베인펌프, 부스터펌프, 디퓨젼(확산)펌프, 터보분자펌프(Turbo molecular Pump) 등이 있습니다.